Surf-Cal, Стандарты размера частиц, объем 50 мл, предварительно смешанные с концентрацией 1x10E8 и 1x10E10/мл

Описание

Стандарты размера частиц SURF-CAL™, используемые для калибровки размеров и контроля систем сканирования поверхности (SSIS). Указанные ниже размеры частиц соответствуют калибровочным размерам частиц, требуемым производителями приборов. Вы должны выполнять периодические проверки калибровки и еженедельный контроль размера и количества, чтобы убедиться, что ваш сканер для проверки пластин сравнивается со сканерами в других местах. Все полистироловые микросферы суспендируют в деионизированной фильтрованной воде в бутылке объемом 50 мл при концентрации 3×10 частиц E8 или 1×10 частиц E10 на мл. Размеры, отмеченные *, аналогичны частицам NIST SRM такого же диаметра. Показатель преломления составляет 1.59 при 589 нм (25°C) для всех полистирольных микросфер, указанных ниже. Каждая бутылка стабильна в течение 12 месяцев и упакована с сертификатом калибровки и прослеживаемости NIST.

Помещая SURF-CAL, прослеживаемые по NIST сферы PSL (полистирольный латекс) на голый кремний и шаблонные пластины, вы можете выполнять периодические проверки калибровки размера на ваших инструментах KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS и сравнивать свой сканер для проверки пластин со сканерами на другие места. Вы также можете оценить производительность SSIS на критических этапах производственного процесса. Все продукты суспендируют в деионизированной фильтрованной воде (деионизированной воде) во флаконах емкостью 50 мл при концентрации 3×10 е10 частиц/мл или 1×10 е10 частиц/мл. Эти стандарты размера частиц Surf-Cal представляют собой полистироловые микросферы, размер которых был определен с помощью анализатора дифференциальной подвижности (DMA) или других методов исключения размера.

Методология измерения:

Чтобы гарантировать отслеживаемость NIST, сертифицированные диаметры этих продуктов были перенесены с помощью просвечивающей электронной или оптической микроскопии из стандартных эталонных материалов NIST (2). Неопределенность была рассчитана с использованием Технического примечания NIST 1297, издание 1994 г. «Рекомендации по оценке и выражению неопределенности результатов измерений NIST» (4). Перечисленная неопределенность представляет собой расширенную неопределенность с коэффициентом охвата два (K = 2). Диаметр пика рассчитывали с использованием приблизительно диапазона ± 2 с распределения частиц по размерам. Распределение по размерам рассчитывали как стандартное отклонение (SDS) всего пика. Коэффициент вариации (CV) - это одно стандартное отклонение, выраженное в процентах от диаметра пика. Распределение FWHM (полная ширина на половине максимума) рассчитывали как распределение на половине высоты пика, выраженное в процентах от диаметра пика.

1. «Национальная технологическая дорожная карта для полупроводников», Ассоциация полупроводниковой промышленности (1999 г.)

2. SD Duke и EB Layendecker, «Метод внутреннего стандарта для калибровки размеров субмикронных сферических частиц с помощью электронной микроскопии», Fine Particle Society (1988).

3. SEMI M52 - Руководство по определению систем контроля поверхности для кремниевых пластин поколения 130 nm Technology.

4. Барри Н. Тейлор и Крис Э. Куйятт, «Рекомендации по оценке и выражению неопределенности результатов измерений NIST». NIST Technical Note 1297, издание 1994 г., сентябрь 1994 г.