ISO 14644-3 Методы испытаний: исследования частиц в воздухе, потока и визуализации

Введение: Доказательство соответствия чистых помещений проектным характеристикам.

Спроектировать чистую комнату — это одно. Доказать, что она соответствует заявленным характеристикам, — совсем другое. Методы испытаний ISO 14644-3 есть ещё один. Из подсчет частиц в воздухе в исследования визуализации воздушного потокаСтандарт ISO 14644-3 гарантирует, что объекты соответствуют требованиям классификации и нормативным требованиям.

Часть 1: Основные категории тестирования

• Количество частиц в воздухе: Откалибровано с использованием стандарты PSL.

• Визуализация воздушного потока: Проведено с туманообразователи сверхчистой воды.

• Тесты времени восстановления: Как быстро количество частиц возвращается к исходному уровню.

• Испытания на герметичность: Обеспечение отсутствия утечек между каскадами давления.

Часть 2: Факторы регулирования

• ИСО 14644-3: Определяет методы и периодичность тестирования.

• Приложение 1 к Правилам надлежащей производственной практики ЕС: Требуется проведение исследований воздействия дыма в зонах класса А/В.

• Рекомендации FDA: Ожидается, что данные о частицах будут соответствовать стандартам NIST.

Часть 3: Инструменты и оборудование

• CRF-распылители для чистых помещений: Плотный, сверхчистый туман для визуализации воздушных потоков.

• AP100 LN₂ туманогенератор: Длительное воздействие тумана для исследований с использованием фармацевтического дыма.

• Стандарты частиц PSL: Калибровка счетчиков частиц.

• Калибровочные пластины: Валидация частиц, специфичных для полупроводниковых технологий.

Часть 4: Применение в промышленности

Полупроводниковое

• Подсчет частиц в зонах ISO 3–5.

• Визуализация тумана для систем переноса пластин.

Фармацевтическая отрасль

• В Приложении 1 требуется полная видеодокументация исследований воздействия дыма.

• Регулярно проводятся испытания по извлечению и локализации.

Медицинские приборы и метрология

• Мониторинг частиц по стандартам ISO 7–8 для упаковочных линий.

• Прослеживаемость количества частиц с помощью стандартов PSL.

Заключение

ISO 14644-3 — это основа валидации чистых помещенийОт визуализации тумана до калибровки PSL — это гарантирует, что объекты не просто соответствуют проектным требованиям, а доказывают их соответствие. Applied Physics Предоставляет инструменты для удовлетворения любых требований.