Системы осаждения частиц, системы осаждения PSL
МОДЕЛЬ 2300 XP1
– ЗАПРОСИТЬ ЦЕНОВОЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ
МОДЕЛЬ 2300 XP1 поддерживает KLA-Tencor серии 6200, серии 6400, SP1-TBI, устаревшие системы контроля вафельных пластин TopCon, Hitachi и ADE.
- Стандартный 80nm к 1um PSL и осаждение пластин частиц, ручная загрузка для 150mm, 200mm, 300mm;
- Опционально 50nm более низкая чувствительность, гарантия 2nd год, программы профилактического обслуживания
НОВИНКА… Модель 2300 NPT-1 – ЗАПРОСИТЬ ЦЕНОВОЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ
МОДЕЛЬ 2300 NPT-1 поддерживает все метрологические приложения диаметром 200 и 300 мм для калибровки кривых отклика размера таких инструментов, как серии Tencor 6200, серии Tencor 6400, инструменты KLA-Tencor SP1 и SP2, все последние системы контроля пластин KLA-Tencor, TopCon, Hitachi. , системы сканирования поверхности AMAT (SSIS). Системы с технологией наночастиц обеспечивают точные калибровочные размеры сферы PSL и технологических осаждений частиц без остатков дымки. Чтобы получить более подробную информацию о системах NPT-1 «True Size Calibration™», отправьте электронное письмо Джону Тернеру.
- Стандартный 20nm к 1um PSL и осаждение частиц
- Стандартная загрузка вафель вручную на контактные контакты PEEK
- Дополнительная гарантия 2 год, программы профилактического обслуживания
Модель 2300 NPT-2 – ЗАПРОСИТЬ ЦЕНОВОЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ
МОДЕЛЬ 2300 NPT-1 поддерживает все метрологические приложения диаметром 200 и 300 мм для калибровки кривых отклика размера таких инструментов, как KLA-Tencor SP1, SP2 и все последние системы контроля пластин KLA-Tencor, серии TopCon 300, 400, 5000, 6000, 7000. , Hitachi, Системы контроля пластин AMAT. Эта система обеспечивает точные калибровочные размеры сферы PSL и отложений технологических частиц без остатков дымки. Для получения более подробной информации о системе NPT-2 «TRUE SIZE CALIBRATION™» отправьте электронное письмо Джону Тернеру. Существенные усовершенствования программного обеспечения заменили предыдущие возможности 2300XP1.
NPT-2 включает в себя двухступенчатую автоматическую систему подачи пластин на базе FOUP и может быть настроен для работы на расстоянии 300 мм на обеих стадиях или на работе с мостом 200 мм на одной стадии и операциях на 300 мм на второй стадии. Контакт пластины осуществляется с помощью захвата кромок с помощью системы автоматизации. Из 2 бутылок-источников различного размера можно выполнить до 50 точечных, полных или кольцевых осаждений. NPT-10 может обрабатывать как сферы PSL, так и различные технологические частицы, такие как нитрид кремния, оксид кремния, медь, оксид титана, вольфрам, тантал; диалетика, металлы и сферы PSL.
NPT-2 не требует, чтобы оператор смешивал растворы, поскольку NPT-2 контролирует концентрацию, смешивает растворы «на лету», а когда требуются новые растворы, все 10 источников легко подключаются и работают. NPT-2 предназначен для поддержки как метрологической калибровки отклика на размер, так и для производства количества стандартов пластин с частицами, чтобы повысить эффективность очистки ваших станций WET Clean и повысить эффективность очистки вашего WET Bench для поддержки процессов с неприемлемыми частицами. урожайность. NPT-2 способен обеспечить высокую рентабельность инвестиций и окупить себя за короткий период времени. Существенные усовершенствования программного обеспечения заменили предыдущие возможности 2300XP2.
- 20nm к 1um PSL и осаждение частиц
- Дополнительная гарантия 2 год, программы профилактического обслуживания
Подробнее – ЗАПРОСИТЬ ЦЕНОВОЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ
Эти высокопроизводительные системы осаждения частиц оснащены самой передовой системой распыления частиц, электростатической классификации и осаждения для создания высокоточных PSL (полистирольных стандартов размера латекса для калибровки систем контроля пластин KLA-Tencor, Applied Materials, TopCon, Hitachi и ADE.
Они также могут наносить монодисперсные технологические частицы на пластины для создания стандартов частиц для стенда WET, которые бросают вызов эффективности очистки стендов WET Clean.
Повышение эффективности очистки с 3.0% до 10% достижимо для систем очистки с помощью этих современных инструментов осаждения частиц, создающих превосходную рентабельность инвестиций. Технологические частицы одинакового размера SiO2, Al2O3, TiO2, Si3N4, Si, Ti, W, Ta, Cu и т. Д. Могут осаждаться на пластинах для обеспечения частиц на адгезии пластин, поэтому инструменты для очистки пластин можно реально оценить.
Системы 2300 XP1 и 2300 NPT-1 оснащены контролем рецептуры и автоматическим многоточечным и многоразмерным осаждением.
Загрузка и выгрузка пластин осуществляется вручную.
2300 NPT-2 имеет полностью автоматическую работу в соответствии с требованиями моста 200mm и требованиями FOUP 300mm. NPT-2 предназначен для поддержки как метрологической калибровки отклика размера систем контроля вафли; а также приложения для влажной скамьи с автоматическим управлением.
Особенности и применение NPT-1 и NPT-2 – ЗАПРОСИТЬ ЦЕНОВОЕ ПРЕДЛОЖЕНИЕ
-
- Размеры и классификация DMA с высоким разрешением, отслеживаемые NIST (Национальным институтом стандартов и технологий), превосходят новые стандарты SEMI M52 и протокол M53 по точности размеров PSL и ширине распределения размеров.
- MSP — первая компания, предоставившая новый 1-нм SRM NIST, а также традиционные 65-нм, 1007-нм и 269-нм NIST SRM, используемые для калибровки размера.
- NPT, калибровка наночастиц удаляет фоновые частицы дымки, которые вызывают значительный сдвиг размеров при традиционном осаждении PSL на основе DMA. MSP — единственная компания, предоставляющая эту новую возможность TRUE SIZE CALIBRATION ™ своей клиентской базе.
- Усовершенствованная технология дифференциального анализатора подвижности (DMA) с автоматической компенсацией температуры и давления для повышения стабильности системы и точности измерений.
- Календарь PM предупреждает на плоском дисплее (FPD), чтобы напомнить оператору о необходимости технического обслуживания.
- Удобное программное обеспечение, контролируемое рецептами
- Автоматический процесс осаждения обеспечивает осаждение нескольких точек на одну пластину с последующей самоочисткой и продувкой.
- Автоматическое позиционирование сопла и вращение пластины позволяют создавать различные формы осаждения: множественное пятно, кольцевое, полное осаждение пластин и другие пользовательские формы.
- Автоматическая обработка пластин обеспечивает быструю, компьютерную обработку пластин диаметром 200 и 300 мм без помощи рук.
- Маркировка CE, соответствие стандартам SEMI S2, S8, S14, соответствие стандартам SEMI M52 и SEMI M53.
- Полные вафельные отложения, точечные и кольцевые вафельные отложения в любой точке вафли.
- Десять источников технологии наночастиц (NPT) для эффективного и быстрого осаждения до 50 различных размеров PSL или технологических размеров частиц
- Высокая чувствительность, позволяющая осаждать сферу PSL и частицы процесса от 20nm до 1um или опционально
- Нанесите частицу процесса на пластины, чтобы обеспечить реалистичную адгезию между частицей и поверхностью пластины для развития процесса очистки и улучшения системы очистки для повышения эффективности и производительности.
- Нанесите сферы PSL на пластины, чтобы создать калибровочные стандарты для систем контроля пластин KLA-Tencor, Applied Materials, TopCon, Hitachi и ADE.
- Нанесите сферы PSL и обрабатывайте частицы на голые, пленочные и узорчатые пластины, чтобы изучить влияние поверхности пластины и показателя преломления частиц на оптический отклик систем контроля пластин.