Applied Physics США
Латексные шарики из полистирола, размеры частиц
Applied Physics США: сферы PSL, микросферы из полистирола, стандарты размера частиц
Applied Physics США поставляет сферы PSL и шарики из полистирола в качестве эталонов размера частиц для калибровки аэрозольных приборов. Инструменты для контроля пластин, такие как KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE и Hitachi, также требуют калибровки по размеру, что достигается за счет использования полистироловых латексных сфер. Сферы PSL, полистироловые микросферы и гранулы поставляются в размерах от 20 нм до 10 микрон для калибровки кривых отклика размера соответствующих систем контроля пластин и лазерных счетчиков частиц. Сферы PSL размером от 20 нм до примерно 5 микрон обычно используются для калибровки размерного отклика лазерных счетчиков частиц. Полистироловые микросферы можно использовать для изготовления эталонов калибровочных пластин и эталонов пластин частиц, которые используются для калибровки отклика на размер инструментов KLA-Tencor Surfscan и более старых инструментов Tencor Surfscan.
Applied Physics США
Полистироловые латексные шарики можно заказать по телефону Applied Physics В (719) 428-4042.
Системы контроля пластин, называемые системами контроля поверхности сканирования, SSIS, в первую очередь от KLA-Tencor и Hitachi, калибруются с использованием стандартов пластин PSL, которые представляют собой пластины Prime Silicon, на которые нанесены сферы PSL определенных размеров и с узким распределением размеров. Инструменты для проверки пластин используются для проверки чистоты поверхностей пластин диаметром 300 мм, 200 мм, 150 мм; голый кремний или пленка, нанесенная на поверхность пластины. SSIS может определять координаты X/Y сфер и частиц PSL, описывать размер каждого дефекта, а также суммировать общее количество частиц на поверхности пластины. Системы контроля пластин KLA-Tencor, такие как Tencor 6200, 6420 и KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 и KLA-Tencor SP3, используются для этой цели в полупроводниковой промышленности. Topcon предлагает системы контроля пластин серий 3000, 5000 и 7000. Estek, ADE, Aeronca и Hitachi также предлагают различные системы контроля пластин. Почти каждый SSIS, производимый сегодня, теперь способен обнаруживать частицы размером 30 нм или лучше. Сферы PSL используются для представления стандартов размера частиц на поверхности пластины. Applied Physics предлагает размеры сфер PSL от 20 нм до 160 микрон для калибровки размера, тестов фильтров HEPA и т. д. Сферы PSL можно заказать по телефону Applied Physics В (719) 428-4042.
Сферы PSL используются с системами осаждения пластин PSL для производства стандартов пластин PSL, также называемых стандартами пластин частиц. В любом случае, после того, как стандарт пластин PSL произведен, он затем помещается в систему контроля пластин и сканируется с помощью одного лазерного SSIS или двух лазерного SSIS. Реальный отклик размера PSL сравнивается с откликом размера SSIS. Если два пика не совпадают, SSIS должен быть откалиброван. Предварительно смешанные сферы PSL с высокой концентрацией предназначены для систем 2300XP1, 2300 NPT-1, 2300NPT-2 и M2300G3.
Сферы PSL, концентрация 1%.
Предварительно смешанные сферы PSL поставляются в бутылках 50ml, монодисперсных по размеру (распределение по размеру 1) и имеют размер от примерно 47nm до 950nm. Этот раствор PSL наливается непосредственно в распылитель или распылитель. Предварительное смешивание - это удобный способ покупки шариков из полистирольного латекса, поскольку все разбавления выполняются очень равномерно, без суеты и суеты, что позволяет пользователю не иметь дело с перемешиванием шариков из полистирольного латекса с помощью стаканов с DI водой. и ультразвуковые поддоны. Несмешанный материал PSL поставляется во флаконе 15ml, монодисперсный по размеру (распределение по размеру 1) и обычно в концентрации 1%. Эти сферы PSL представлены в широком диапазоне размеров, но для наших целей, от 20nm до 4um по размеру. Материал PSL должен быть смешан до надлежащего разбавления, иначе он будет слишком концентрированным или слишком слабым, чтобы обеспечить эффективные результаты при попытке нанесения одной из вышеуказанных систем осаждения пластин PSL. Ссылка на CleanRoom Foggers