Стандарты вафельных частиц

Стандарты пластин PSL и стандарты пластин с частицами кремнезема производятся с помощью системы осаждения частиц, которая сначала анализирует пик размера PSL или пик размера кремнезема с помощью анализатора дифференциальной подвижности (DMA). DMA — это высокоточный инструмент сканирования частиц, объединенный со счетчиком частиц конденсации и компьютерным управлением для выделения высокоточного пика размера на основе отслеживаемой калибровки размера частиц NIST. После подтверждения пика размера поток частиц по размеру направляется на стандартную поверхность кремниевой пластины; считается, когда он наносится полным осаждением по всей пластине или точечным осаждением в определенных местах вокруг пластины. Стандарты пластин обладают высокой точностью по размеру частиц для калибровки KLA-Tencor Surfscan SP1, KLA-Tencor Surfscan SP2, KLA-Tencor Surfscan SP3, KLA-Tencor Surfscan SP5, Surfscan SPx, Tencor 6420, Tencor 6220, Tencor 6200, ADE, Hitachi. а также инструменты Topcon SSIS и системы проверки пластин. – Система осаждения частиц 2300 XP1 может наносить осаждение на пластины диаметром 150, 200 и 300 мм с использованием сфер PSL или частиц диоксида кремния размером от 30 нм до 2 мкм.

Дифференциальный анализатор мобильности, сканирование напряжения DMA, пик размера диоксида кремния, 100nm
Дифференциальный анализатор подвижности, напряжение DMA, пик размера диоксида кремния при 100nm
Стандарты размера шариков PSL и размеров кварца сканируются анализатором дифференциальной подвижности для определения пика истинного размера. После того, как пик размера проанализирован, стандарт пластин может быть нанесен в виде полного осаждения или точечного осаждения, или стандартов пластин с множественным точечным осаждением. Пик размера диоксида кремния на нанометрах 100 (0.1 микрон) сканируется выше, и DMA обнаруживает пик истинного размера диоксида кремния при 101nm.

Стандарты вафли с полным или точечным осаждением

ЗАПРОСИТЬ ЦЕНУ
Система осаждения частиц обеспечивает высокоточные стандарты калибровочных пластин PSL и стандарты загрязняющих пластин кремнезема.

Наша система осаждения частиц 2300 XP1 обеспечивает автоматический контроль осаждения частиц для производства ваших стандартов PSL Wafer и Silica Wafer Standards.

Применение осаждения частиц
Размеры и классификация высокого разрешения, отслеживаемые NIST (дифференциальный анализатор мобильности) превосходят новые стандарты SEMI M52, M53 и M58 по точности определения размера PSL и ширине распределения размера
Автоматическая калибровка размера осаждения в 60nm, 100nm, 269nm и 900nm
Усовершенствованная технология дифференциального анализатора подвижности (DMA) с автоматической компенсацией температуры и давления для повышения стабильности системы и точности измерений
Автоматический процесс осаждения обеспечивает множественные точечные осаждения на одной пластине
Полные Вафельные Отложения через вафлю; или точечные осаждения в любом месте на пластине
Высокая чувствительность, позволяющая осаждать сферу PSL и частицы кремнезема от 20nm до 2um
Депонируйте частицы кремнезема для калибровки ваших систем контроля пластин с помощью мощного лазерного сканирования
Поместите шарики PSL для калибровки ваших систем контроля пластин с помощью слабого лазерного сканирования
Нанесите шарики PSL и частицы кремнезема на первичные кремниевые пластины или на свои фотошаблоны 150mm.

Калибровочная пластина PSL, стандартная пластина для загрязнения кремнеземом
Инструменты осаждения частиц используются для нанесения очень точного стандарта размера PSL или размера частиц кремнезема на стандарт пластин для калибровки различных систем контроля пластин.

Калибровочные пластины PSL Стандарт для калибровки систем контроля пластин с использованием лазера малой мощности для сканирования пластин.
Стандартная пластина для контроля содержания кремнезема для калибровки систем контроля пластин с использованием мощного лазера для сканирования пластин.
Калибровочная маска Стандарт или Кремниевая маска Стандарт
ЗАПРОСИТЬ ЦЕНУ
Наш 2300 XP1 наносит отслеживаемые, сертифицированные NIST стандарты масок на боросиликатные маски диаметром 125 мм и 150 мм.

Стандарт калибровочной маски PSL для масок диаметром 125 мм.
Стандарт загрязнения кремнеземом на масках 150mm