Поиск продуктов
Категории товаров
Ожидание изображения продукта

Калибровка размера частиц стандартного эталонного материала NIST

NIST, Стандартный эталонный материал, микросферы и шарики из полистирола, используемые в стандартах калибровки и загрязнения пластин для проверки точности размеров систем контроля пластин KLA и KLA-Tencor.

Категория: Теги: , , , , , , , ,

Описание

 

NIST SRM, Стандарты размеров частиц, Сферы PSL, Калибровка размеров

Стандарты размера частиц NIST SRM - это калибровочные стандарты, известные во всем мире для использования в любых приложениях, где требуется стандарт размера NIST SRM (эталонный размер) с чрезвычайно точным размером, узкими пиками размера и узким стандартным отклонением. Они могут быть использованы для калибровки и проверки разнообразного оборудования для определения размеров частиц, включая приборы для рассеяния света, электронные микроскопы и анализаторы дифференциальной подвижности. Они особенно важны для калибровки систем контроля поверхности сканирования, которые используются для обнаружения и характеристики дефектов на кремниевых пластинах. Точные эталонные частицы необходимы для разработки и совершенствования сканирующих систем для высокопроизводительного и экономически эффективного производства пластин, что крайне важно для миниатюризации устройства. Эталонные частицы также могут быть использованы для подачи монодисперсных частиц (пика одного размера) для тестирования аэрозольных инструментов и полезны для изучения кинетики аэрозоля и оценки отклика детектора частиц.

Сертифицированное значение для модального диаметра:

60 нм SRM 1964 микросферы полистирола - 60.39 нм с расширенной неопределенностью ± 0.63 нм;

100 нм SRM 1963A микросферы полистирола - 101.8 нм с расширенной неопределенностью ± 1.1 нм;

269 нм SRM 1691 микросферы полистирола - 269 нм с расширенной неопределенностью ± 4 нм;

895 нм SRM 1690 микросферы полистирола имеют размер 895 нм с расширенной неопределенностью ± 5 нм.

Измерения были выполнены с использованием дифференциального анализа подвижности и прослеживаются до длины волны He-Ne-лазера в воздухе, 632.807 нм, которая была определена в отношении фундаментального стандарта длины.

Микросферы из полистирольного латекса, 20-900 нм, частицы полистирольного латекса – Купить

Полистирольные латексные микросферы, 1-160 мкм, частицы полистирольного латекса – Купить

Сферические диаметры откалиброваны с линейными размерами, рассчитанными NIST. Сферы используются вместо частиц неправильной формы, чтобы минимизировать отклик лазерных сканеров, чувствительных к формованным частицам. Стандарты упакованы в виде водных суспензий во флаконах с капельницами 5 (мл). Концентрации частиц оптимизированы для облегчения дисперсии и коллоидной стабильности. Сферы имеют плотность 1.05 г / см3 и показатель преломления 1.59 @ 589 нм, измеренный при градусах 25 по Цельсию.

Каждая упаковка содержит сертификат калибровки и прослеживаемости для NIST, который включает описание метода калибровки и его неопределенности, а также таблицу химических и физических свойств. Также имеется паспорт безопасности материала с инструкциями по обращению и утилизации. Бутылки PSL пронумерованы для удобного технического обслуживания и поддержки после продажи.

NIST SRM Сферы 60.4nm, 101.8nm, 269nm и 895nm
Состав частиц Полистирол Латекс, PSL Шары
Плотность частиц 0.625 g / cm³
Показатель преломления 1.59 @ 589nm (25 ° C)
Размер бутылок 5 мл
Срок годности ≤ 24 месяцев
Добавки Содержит следовые количества сурфактанта
Рекомендуемая температура хранения 2-8 ° C
Размер и объем бутылки Бутылка 5ml
Сферы PSL, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm

Номер продукта

Номинальный диаметр

Сертифицированный средний пик

Стд. Разработка и резюме

Содержание твердых веществ

AP1690   

 895 нм

895nm ± 5 нм

 0.7 нм

0.50%

AP1691   

 269 нм

269nm ± 4 нм

 5.3 нм

0.50%

AP1963A   

 101.8 нм

101.8nm ± 1.1 нм

 0.55 нм

0.50%

AP1964   

 60.4 нм

60.39nm ± 0.63 нм

0.31 нм

0.50%

Возможно вам понравится

Переведите "