Стандарты размера частиц кремнезема

В современных лабораториях метрологии полупроводников приборы для контроля пластин используют высокомощные лазеры для сканирования кремниевых пластин размером 200 и 300 мм для обнаружения поверхностных частиц размером менее 30 нанометров. При калибровке сканирующих систем с высокой мощностью лазера калибровка размера чрезвычайно важна для обнаружения на 30 нм; и для точного определения размера частиц во всем диапазоне размеров. Калибровка размера с использованием мощных лазеров и традиционных сфер из полистирола из латекса для калибровки может быть затруднена, так как высокая мощность лазера может сморщить латексные сферы. В растворе используются частицы диоксида кремния, стандарты размера при 20 нм, 30 нм, 50 нм, 100 нм, 500 нм, 1 мкм и 2 мкм. Преимущество состоит в том, что диоксид кремния не сморщивается под воздействием высокой мощности лазера, что обеспечивает постоянный точный размер пика для калибровки; и частицы диоксида кремния имеют очень близкий показатель преломления по сравнению с частицами латекса полистирола. Стандарты пластин для очистки от кремнезема; Стандарты размера частиц кремнезема

частицы кремнезема
Загрязнение Вафельный Стандарт
Переведите "