Поиск продуктов
Категории товаров
Сферы PSL 47 нм, объем бутылки 50 мл Шарики из полистирола и латекса

Surf-Cal, Стандарты размера частиц, объем 50 мл, предварительно смешанные с концентрацией 1x10E8 и 1x10E10/мл

Стандарты размера частиц SURF-CAL™, используемые для калибровки размеров и контроля систем сканирования поверхности (SSIS). Указанные ниже размеры частиц соответствуют калибровочным размерам частиц, требуемым производителями приборов. Вы должны выполнять периодические проверки калибровки и еженедельный контроль размера и количества, чтобы убедиться, что ваш сканер для проверки пластин сравнивается со сканерами в других местах. Все полистироловые микросферы суспендируют в деионизированной фильтрованной воде в бутылке объемом 50 мл при концентрации 3×10 частиц E8 или 1×10 частиц E10 на мл. Размеры, отмеченные *, аналогичны частицам NIST SRM такого же диаметра. Показатель преломления составляет 1.59 при 589 нм (25°C) для всех полистирольных микросфер, указанных ниже. Каждая бутылка стабильна в течение 12 месяцев и упакована с сертификатом калибровки и прослеживаемости NIST.

Помещая SURF-CAL, прослеживаемые по NIST сферы PSL (полистирольный латекс) на голый кремний и шаблонные пластины, вы можете выполнять периодические проверки калибровки размера на ваших инструментах KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS и сравнивать свой сканер для проверки пластин со сканерами на другие места. Вы также можете оценить производительность SSIS на критических этапах производственного процесса. Все продукты суспендируют в деионизированной фильтрованной воде (деионизированной воде) во флаконах емкостью 50 мл при концентрации 3×10 е10 частиц/мл или 1×10 е10 частиц/мл. Эти стандарты размера частиц Surf-Cal представляют собой полистироловые микросферы, размер которых был определен с помощью анализатора дифференциальной подвижности (DMA) или других методов исключения размера.

Категория: Теги: , , , , , , , , , , , ,

Номер детали

Концентрация Кол-во/мл

Диаметр частиц

Распределение по размеру

 Цена за флакон 50 мл
АППД-047 3 х 108 частиц/мл 0.047 мкм 0.004μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
АППД-047Б 1 х 1010 частиц/мл 0.047 мкм 0.004μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АППД-064 3 х 108 частиц/мл 0.064 мкм 0.003μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
АППД-064Б 1 х 1010 частиц/мл 0.064 мкм 0.003μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АППД-083 3 х 108 частиц/мл 0.083 мкм 0.004μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-083B 1 х 1010 частиц/мл 0.083 мкм 0.004μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-092 3 х 108 частиц/мл 0.092 мкм 0.004μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-092B 1 х 1010 частиц/мл 0.092 мкм 0.004μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-100* 3 х 108 частиц/мл 0.100 мкм 0.003μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-100Б* 1 х 1010 частиц/мл 0.100 мкм 0.003μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-125 3 х 108 частиц/мл 0.126 мкм 0.003μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-125B 1 х 1010 частиц/мл 0.126 мкм 0.003μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-155 3 х 108 частиц/мл 0.155 мкм 0.003μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-155B 1 х 1010 частиц/мл 0.155 мкм 0.003μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-200 3 х 108 частиц/мл 0.202 мкм 0.004μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-200B 1 х 1010 частиц/мл 0.202 мкм 0.004μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-204 3 х 108 частиц/мл 0.204 мкм 0.004μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-204B 1 х 1010 частиц/мл 0.204 мкм 0.004μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-215 3 х 108 частиц/мл 0.220 мкм 0.003μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-215B 1 х 1010 частиц/мл 0.220 мкм 0.003μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-305 3 х 108 частиц/мл 0.304 мкм 0.004μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-305B 1 х 1010 частиц/мл 0.304 мкм 0.004μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-365 3 х 108 частиц/мл 0.360 мкм 0.005μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-365B 1 х 1010 частиц/мл 0.360 мкм 0.005μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-500 3 х 108 частиц/мл 0.498 мкм 0.006μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-500B 1 х 1010 частиц/мл 0.498 мкм 0.006μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-800 3 х 108 частиц/мл 0.809 мкм 0.006μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-800B 1 х 1010 частиц/мл 0.809 мкм 0.006μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП ПД-802 3 х 108 частиц/мл 0.802 мкм 0.009μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
AP PD-802B 1 х 1010 частиц/мл 0.802 мкм 0.009μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП PD1100 3 х 108 частиц/мл 1.112 мкм 0.011μm

$ 295.00   В КОРЗИНУ
Точка доступа PD1100B 1 х 1010 частиц/мл 1.112 мкм 0.011μm

$ 1495.00   В КОРЗИНУ
АП PD1600 3 х 108 частиц/мл 1.59 мкм 0.016μm $ 295.00   В КОРЗИНУ
АП PD2000 3 х 108 частиц/мл 2.01 мкм 0.019μm $ 295.00   В КОРЗИНУ
АП PD3000 3 х 108 частиц/мл 3.04 мкм 0.026μm $ 295.00   В КОРЗИНУ

Методология измерения:

Чтобы обеспечить прослеживаемость NIST, сертифицированные диаметры этих продуктов были перенесены с помощью просвечивающей электронной или оптической микроскопии из стандартных эталонных материалов NIST (2). Неопределенность была рассчитана с использованием Технического примечания NIST 1297, издание 1994 г. «Руководство по оценке и выражению неопределенности результатов измерений NIST» (4). Указанная неопределенность представляет собой расширенную неопределенность с коэффициентом охвата, равным двум (K=2). Диаметр пика рассчитывали, используя примерно ± 2s диапазон распределения частиц по размерам. Распределение по размерам рассчитывали как стандартное отклонение (SDS) всего пика. Коэффициент вариации (CV) представляет собой одно стандартное отклонение, выраженное в процентах от диаметра пика. Распределение FWHM (полная ширина на половине максимума) рассчитывалось как распределение на половине высоты пика, выраженное в процентах от диаметра пика.

1. «Национальная технологическая дорожная карта для полупроводников», Ассоциация полупроводниковой промышленности (1999 г.).

2. Дьюк С.Д. и Лайендекер Э.Б., "Метод внутреннего стандарта для калибровки размера субмикронных сферических частиц с помощью электронной микроскопии", Fine Particle Society (1988).

3. SEMI M52 - Руководство по определению систем контроля поверхности для кремниевых пластин поколения 130 nm Technology.

4. Барри Н. Тейлор и Крис Э. Куятт, «Руководство по оценке и выражению неопределенности результатов измерений NIST». Техническое примечание NIST 1297, издание 1994 г., сентябрь 1994 г.

Возможно вам понравится

Переведите "